加圧オーブン

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Pressure Curing Oven

加圧オーブンは、工程に最適化された圧力と温度を精密に制御する設備で、積層成形工程に適用され、タッチパネルおよび小型 LCD フィルム貼り合わせ工程をはじめ、高度化された半導体部品産業全般に幅広く活用されています。特に、ユーザー中心の利便性と均一な温度制御性能、最高水準の安全性を基盤に、安定的で信頼性の高い工程環境を提供します。

  • フィルム貼り合わせ

  • 半導体パッケージング

  • ガラス貼り合わせ

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製品情報

  • FA : フィルム貼り合わせ用

    フィルム層間の気泡を除去して層の均一性を確保することで、製品性能を向上させます。タッチパネルおよび小型 LCD フィルム貼り合わせ工程に活用されます。

  • HA : 半導体パッケージング用

    エポキシ樹脂を硬化させると同時に、気体による一定の圧力で等方向に圧縮を加え、内部の気泡やボイド（空隙）などを除去する設備です。硬化と脱泡工程を同時に進行するため、工程効率に優れています。

  • GA : ガラス貼り合わせ用

    恒温状態を維持したまま等方向に圧力を加え、素材の均質化と緻密化（高密度化）を実現する設備です。強化ガラスやペアガラスなど、ガラス表面の熱処理や合わせガラス工程に適用されます。

特長

  • グローバル安全基準を充足

    ASME 基準に準拠した安全構造設計を採用し、韓国の産業安全およびガス安全検査を完了。中国 SEL 認証まで確保した設備です。

  • クリーンルーム特化構成

    駆動部を一体化した構造で粉塵の発生を最小限に抑えたシステムであり、回転部には安全カバーを適用。主要材質に SUS を使用し、耐久性と衛生性を確保しました。

  • 容易な着脱機能

    最適な空気の流れを実現するため 100% ガイド構造を採用し、損失を最小限に抑えるよう効率的に設計されています。

  • O-Ring の寿命延長

    運転温度に適した材質の O-Ring を採用して寿命を延長し、異物の発生を最小限に抑えた構造で設計されています。

  • 精密配管設計技術

    32年間にわたり蓄積されたノウハウを基に、完成度の高い配管処理を実現。高圧下でも安定した部재を選定し、工程フローを一目で把握できるよう設計されています。

  • 直感的な操作

    直感的なインターフェースを採用したコントロールパネルを通じて容易な操作環境を提供し、安定的かつ優れた性能で設備運用の効率を高めます。

製品仕様 サイズおよび重量は、工程やオプションによって変更される場合があります。

  • FA フィルム貼り合わせ
  • HA 半導体パッケージング
  • GA ガラス貼り合わせ
Series Inside diameter (㎜) Inside depth (㎜) Equipment Size (㎜ / w*d*h) Equipment Weight (kg) Pressure (bar) Temp (℃) Material
FA3 300 300 1,529.5 x 885 x 1,450 800 8 / 20 80 / 100 SUS304 / SMCM439
500 1,568 x 1,362 x 2,305 900
FA5 500 500 1,672 x 2,471.5 x 2,000 1000
1000 1,672 x 2,471.5 x 2,600 1300
FA6 600 500 1,690 x 1,400 x 2,100 1500
1000 1,690 x 1,400 x 2,600 1800
FA9 900 1000 1,915 x 1,580 x 2,950 2500
1500 1,915 x 1,580 x 3,230 3000
FA12 1200 1500 2,125 x 2,080 x 3,020 4000
2000 2,125 x 2,080 x 3,520 5000
Series Inside diameter (㎜) Inside depth (㎜) Pressure (bar) Temp (℃) Material
HA-6322 680 350 20 200 SUS304
HA-6622 630
HA-7622 720 630
HA-7822 760 800
HA-8422 800 400
Series Inside diameter (㎜) Inside depth (㎜) Pressure (bar) Temp (℃) Material
GA6 600 600 9 / 20 150 SUS304
100
GA9 900 1000
1500
GA12 1200 1200
1500
GA15 1500 2000
1500
GA20 2000 2000
3000

オーダーメイド型 選定方法

Type Inside diameter Inside depth Pressure Temp (℃)
A / B / B" (選定) Ø (計算) C (選定) 使用最大値 (bar) 使用最大値 (℃)
Type A / B / B" (選定)
Inside diameter Ø (計算)
Inside depth C (選定)
Pressure 使用最大値 (bar)
Temp (℃) 使用最大値 (℃)

注意事項

  • 1次トレイ台車の幅を選定 (A選定基準)
  • 2次トレイ/台車の高さと単数を選定 (B/B”選定基準)
  • 上記2つのAとBが選定された場合、Inside diameter(Ø)を求める方法はA(下辺)、B(高さ)、C(斜辺)というときAとBを知っているので、Cを求めれば良い。
  • 斜辺(C)の平方=下辺(a)の平方+高さ(b)の平方
  • 斜辺(C)mm + 50mm = 内径(Ø)